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中科科儀KYKY電子掃描顯微鏡EM6900

產品型號：

EM6900

品牌：

中科科儀KYKY

≧1 臺
￥1380000.00

所在地：

廣東深圳

更新日期：

2025-04-03

詳細信息

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品牌：中科科儀KYKY	型號：EM6900	加工定制：否
類型：電子	目鏡放大倍數：8～300000 倍	物鏡放大倍數：8～300000 倍
儀器放大倍數：8～300000 倍	重量：3200 g	適用范圍：電池材料、半導體、復合材料、高
裝箱數：1套	重量：3200 g	適用范圍：電池材料、半導體、復合材料、高

中科科儀KYKY電子掃描顯微鏡EM6900

優點
分辨率高、成像質量好
翻開式預對中鎢絲陰極、選配六硼化鑭燈絲
中英文操作界面，具有一鍵成像功能
低維護、維修成本

產品特點
具備較高分辨率，滿足大多數樣品的微觀形貌測試
翻開式預對中鎢絲陰極，更換燈絲方便
成像效果優良，細節清晰，景深大
樣品倉室可多接口擴展，滿足諸多原位測試，以及多功能嵌入
中英文菜單，一鍵切換
自動功能：電子槍加熱、偏壓、對中、聚焦、亮度、對比度、消像散、像散記憶等。
自動校正，自動故障檢測

應用領域
電池材料、半導體、復合材料、高分子、動植物、微生物、粉末冶金、礦物、金屬行業、建筑材料、化工材料、陶瓷材料。

技術參數
分辨率  3nm@30kV（SE）
樣品臺  自動樣品臺
加速電壓  0～30kV連續可調
探測器  高真空二次電子探測器、半導體四分割背散射電子探測器、CCD
燈絲   六硼化鑭（選配）

電子光學鏡筒部分： 800×800×1850(mm)
電器柜控制部分： 1340×850×740(mm)

KYKY-EM6900是一款完全由計算機控制的全自動鎢燈絲掃描電子顯微鏡，具有突出的電子光學性能，
清晰的數字化圖像，成熟的操作軟件，用戶界面友好等特征。基于 Windows平臺，獲取圖片后可以用
常見的標準格式存儲圖像，強化了圖片歸檔、圖像處理和測量、電鏡自動化及其他自動功能。

中科科儀KYKY電子掃描顯微鏡EM6900技術規格

電子光學
電子槍：預對中鎢燈絲
分辨率：3nm@30KV （SE）； 6nm@30KV （BSE）
放大倍率：8～300000 倍
加速電壓：0～30kV連續可調，0-10kV步進量為100V，10kV以上步進量為1kV
探針電流：0～2000nA
透鏡系統：三級錐形電磁透鏡系統，一體式屏蔽設計，無漏磁，無輻射泄露
物鏡光闌：三個可在真空外調節，無需拆卸鏡筒即可更換物鏡光闌

真空系統
二級全自動真空系統（機械泵＋分子泵）
具備真空互鎖功能
主泵為Edwards復合渦輪分子泵
樣品倉室真空優于2.6E-3 Pa
抽真空時間：≤ 3 分鐘

探測器
高真空二次電子探測器
四分割大面積半導體BSE探測器
紅外CCD攝像頭

樣品室、樣品臺
樣品室提供不少于5個可擴展接口，可接 WDS、EDS、BSE 等多種附件和探測器
樣品臺配置：五軸全自動樣品臺
行程：X=70mm,Y=50mm,Z=45mm，R=360°，T=-5°～+90°
*大樣品直徑Ф175mm5
*大樣品高度35mm
樣品臺有碰撞報警功能

掃描、成像特性
圖像顯示：可選擇全屏顯示或分屏顯示，可進行多通道成像，分屏上可同時進行不同信號成像
掃描速度：預設四種掃描模式（快掃、中掃、慢掃、選區掃描），掃描速度自由配置，支持感興趣區域掃描模式
圖像存儲格式：默認格式為TIF，可另存為BMP、GIF、JPG、PNG
圖像處理器：*大像素顯示可達4096×4096
圖像層次豐富細致，實時顯示放大倍數，標尺，加速電壓，顯示灰度曲線

控制系統
操作系統：Windows10中文版正版系統
圖像存儲：大容量硬盤或其它存儲介質上，或直接打印輸出。
計算機配置：主流工作站，配置不低于DELL T3650；I5-11500；16G 1TB+512G SSD DVD RWP2422H
軟件控制系統：立體顯示圖標，通過按鍵、鼠標或手控盒（選配）自動完成調節操作：電位移調節、多標尺

測量、電對中調節、物鏡反轉、物鏡調節、電旋轉調節等
中英文菜單一鍵切換，低倍率一鍵成像
自動功能：自動亮度/對比度、自動聚焦、自動消象散、自動燈絲調節

使用環境條件：
溫濕度：16～30℃；相對濕度小于70%
電力供應：埋設獨立的地線，保證其接地電阻小于5Ω，標準正弦波，無噪音、瞬變、振蕩和脈沖
供電：AC 220V（±10%），50Hz（±1%），總功率3000W
獨立空開，規格25A；可控制2個16A、不少于2個10A三芯插座
振動：在安裝位置上，任何方向的振動都應小于3μm（P-P )
磁場：保證任何方向的磁感應強度都應小于3×10-7T(3毫高斯，P-P)
注：建議安裝2樓及以下，并遠離地鐵、公路、鐵路等震源，遠離變電設備、高頻設備等磁場干擾。

檢測圖像